シワードは業界最大の6インチ人工水晶の開発に成功 － ハイエンド チップ アプリケーションに先行

情報通信製品への応用の発展に伴い、水晶部品は過去20年間、小型化と高周波化の方向へ発展してきました。従来の1インチランバードをウェハ状に切断し、ラッピング、ポリッシュを行い、小片に切断するという加工方法は、ハイエンド製品の応用に満足することが難しいです。

これらのニーズに応えるため、コーティング、フォトリソ、エッチングといった類半導体プロセスである微小電気機械加工を人工水晶ウエハに応用することで、高周波化と小型化の目標を実現しています。そのため、メムスプロセスはクリスタル業界でのチップコア技術となっています。メムスウエハのサイズも2インチ、3インチから4インチへと徐々に推進し、生産効率の最適化に進んでいます。

ウェハサイズが大きくなるにつれ、高度な加工技術のほか、品質の達成にも厳しい挑戦です。人工水晶の育成は、単に育成日数を延長して原石のサイズを大きくするだけではなく、品質を確保するため、パラメータは原石のサイズに応じて設計する必要があります。所望の特性を満たすパラメータを設計することを通して、品質目標を達成することができます。

大型原石用種は、絶対に流出しない重要な材料であり、要件に満たす種の取得には、複数回育成する必要があります。シワードは2年間の研究開発を経て、2023年8月に最初の6インチの育成に成功し、業界で6インチ水晶材料を供給できる少数のサプライヤーの1つになりました。6インチ水晶材は、TF、AT、STなど、様々な仕様・角度に使用できるほか、極超短波材料基板としても利用可能で、今後の発展が期待できます。

詳細情報は当社ウェブサイト（人工水晶）をご覧ください。

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